第1252章(1 / 2)

极紫光的关键点在于什么?

经过一个月的研究,秦凡终于有了自己对极紫光的一种理解。

而这其中,难度最大的,莫过于euvl光源的激发。

所以,极紫外光刻技术,也被称之为euv光刻,是目前全世界范围内,最先进最前沿光刻机使用的一种光刻技术。

而想要达成极紫光刻技术,最重要的一点就是不会产生辐射的光源激发。

经过这段时间的研究,秦凡发现,中性原子和凝聚态物质不会产生euv辐射。

但想要让一-种材料发光,首先需要做到的就是电离,因为极紫外光,只会被多个带正电的离

子束缚的电子产生。

举个例子,一个电子从+3碳离子ev的要求,这样的电子比典型的价电子更紧密地结合。

多价正离子只能存在于高温高密度等离子体中,并且自身会强烈吸收euv。

才是实现极紫光刻技术

的关键。

而且euv光刻与当今使用比较广泛,同属于科技前沿的深紫外光刻有很大不同。

euv可以吸收所有材料中

的euv,因为它接近波长为13.5nm的软x射线。

因此,euv光刻必须在真空中进行,非真空状态,也许就会导致euv光的损失。

这些,就是秦凡这段时间的收获。

也许,相对来说还有很多地方有所缺陷,可开展第--次极紫光刻却也是足够了。

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