举个例子,一个电子从+3碳离子ev的要求,这样的电子比典型的价电子更紧密地结合。
多价正离子只能存在于高温高密度等离子体中,并且自身会强烈吸收euv。
才是实现极紫光刻技术
的关键。
而且euv光刻与当今使用比较广泛,同属于科技前沿的深紫外光刻有很大不同。
euv可以吸收所有材料中
的euv,因为它接近波长为13.5nm的软x射线。
因此,euv光刻必须在真空中进行,非真空状态,也许就会导致euv光的损失。
这些,就是秦风这段时间的收获。
也许,相对来说还有很多地
方有所缺陷,可开展第-
-次极紫光刻却也是足够了。
实际运用,才是检验真理的唯一标准15,同样的,也是发现问题的关键。
实验室中,林海源等人正在紧张的准备着各种仪器设备。
与之前的实验略显不同,极紫光刻技术要求极高,能否一次成功,哪怕秦风都是信心不大,这也就意味着,再进行实验过程中的数据收集工作就变得至关重要。
极紫光刻技术的问题出在哪里,不算肉眼就能看出来的,要借住各种仪器设备传感器捕捉数据,通过数据来直观的了解到-些信息,从这些信息中发现问题,解决问题,不断地进行尝试,修复,完善,最终,才有可能研发出真正地euv光刻机。
知道这次实验重要性的林海源等人,都很谨慎,生怕自己这里出错到底实验不成功,或者无法捕捉到关键性的数据。